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肖特微晶玻璃與石英玻璃在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域的區(qū)別

文章出處:http://www.ysgqi.cn/wenda/6678.html人氣：8時(shí)間：2025-12-05

一、材料特性概述

1. 肖特微晶玻璃（SCHOTT Glass-Ceramic）
代表材料包括 ZERODUR®、NEXTREMA®、ROBAX® 等，是德國肖特公司開發(fā)的高性能微晶玻璃系列。
其特點(diǎn)是通過受控晶化技術(shù)獲得極低熱膨脹系數(shù)（幾乎為零），并具有較高的機(jī)械強(qiáng)度與熱穩(wěn)定性。

2. 石英玻璃（Fused Silica / Quartz Glass）
由高純度二氧化硅（SiO?）熔融制成，是純度最高、透光性最優(yōu)、耐高溫性最強(qiáng)的玻璃材料之一。
在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域中是不可替代的關(guān)鍵材料。

二、性能對(duì)比（重點(diǎn)針對(duì)半導(dǎo)體與光學(xué)應(yīng)用）

性能指標(biāo) 肖特微晶玻璃（ZERODUR®、NEXTREMA®） 石英玻璃（Fused Silica）
主要成分 SiO?、Al?O?、TiO?、Li?O 等復(fù)合體系 SiO? ≥ 99.99%
熱膨脹系數(shù) ≈ 0 ± 0.05 ×10?? /K（近零膨脹） 0.5 ×10?? /K（極低）
耐溫性能 連續(xù)工作約 600–800 °C（部分可達(dá)900 °C） 連續(xù)工作可達(dá) 1000–1200 °C，短時(shí)1300 °C
耐熱震性 良好，受厚度限制 極優(yōu)，可直接急冷急熱
透光性能 不透紫外，部分型號(hào)可透可見光或紅外 透紫外、可見與部分紅外，全波段透過率極高
機(jī)械強(qiáng)度 高于石英，抗彎強(qiáng)度可達(dá) >100 MPa 較脆，抗彎強(qiáng)度約 50 MPa
尺寸穩(wěn)定性 極佳，適合精密光學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu) 優(yōu)秀，但熱形變略大于ZERODUR
純度與雜質(zhì)控制 含少量晶相雜質(zhì)，不適用于等離子暴露 超高純度，適合真空、等離子與化學(xué)環(huán)境
成本與加工性 可機(jī)械加工、拋光性好，成本適中 加工難度高、成本高

三、在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用區(qū)別

應(yīng)用方向 肖特微晶玻璃 石英玻璃
晶圓檢測(cè)與對(duì)準(zhǔn)平臺(tái) ? 極低膨脹率，尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異（ZERODUR®為主） 可用但熱漂移稍大
曝光機(jī) / 光刻機(jī)結(jié)構(gòu)件 ? 用作反射鏡基座、光學(xué)平臺(tái)（ZERODUR®） 用作透鏡、光學(xué)窗、光纖組件
CVD / Etching 腔體零部件 ? 不耐等離子體及高溫化學(xué)環(huán)境 ? 標(biāo)準(zhǔn)材料（石英環(huán)、石英舟、石英管）
測(cè)試治具 / 光學(xué)支架 ? 尺寸穩(wěn)定、易加工 可用但形變控制較難
光罩基板 (Mask Blank) ? 不透明，不適用 ? 高純度透光材料標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)

       在半導(dǎo)體制造中，石英玻璃是工藝接觸材料（如刻蝕腔體、CVD 管、晶舟）的首選；而肖特微晶玻璃（尤其 ZERODUR®）則是結(jié)構(gòu)件、基座、檢測(cè)平臺(tái)的理想材料，二者功能互補(bǔ)。想了解更多歡迎咨詢：13712574098

 

 

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