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ULE? vs Zerodur?:兩大超低膨脹玻璃陶瓷在精密光學(xué)的性能對(duì)比

文章出處:http://www.ysgqi.cn/taocigongyi_/935.html人氣:6時(shí)間:2025-11-07

一、材料簡(jiǎn)介

      康寧 ULE®(Ultra-Low Expansion Glass)
ULE 是美國(guó) Corning(康寧)公司開(kāi)發(fā)的超低膨脹玻璃,主要成分為 SiO?–TiO?(約7~8%TiO?)。它是一種非晶態(tài)玻璃材料,通過(guò)成分調(diào)控實(shí)現(xiàn)極低的熱膨脹系數(shù),具有極高的光學(xué)均勻性與化學(xué)穩(wěn)定性。ULE 的突出特征是光學(xué)透過(guò)性好、尺寸穩(wěn)定、可大尺寸鑄造
。

 肖特 ZERODUR® 微晶玻璃陶瓷
ZERODUR 是德國(guó) SCHOTT(肖特)公司的代表性微晶玻璃陶瓷材料,由玻璃基體經(jīng)受控晶化形成細(xì)微晶相(約70%晶體 + 30%玻璃相)。
它是一種近零熱膨脹復(fù)合材料,具有極高的尺寸穩(wěn)定性與機(jī)械強(qiáng)度,被譽(yù)為“天文望遠(yuǎn)鏡鏡基材料的黃金標(biāo)準(zhǔn)”。

二、材料結(jié)構(gòu)與性能對(duì)比

對(duì)比項(xiàng)目 康寧 ULE® 肖特 ZERODUR®
材料類(lèi)型 非晶態(tài)玻璃(單相) 微晶玻璃陶瓷(多相復(fù)合)
主要成分 SiO? + TiO? (~7.5%) SiO?–Al?O?–Li?O–TiO?–ZrO? 等
熱膨脹系數(shù) (20–300°C) 0 ± 0.02 ×10??/K 0 ± 0.007 ×10??/K
密度 2.21 g/cm³ 2.53 g/cm³
最高使用溫度 ~500 °C ~600 °C
熱導(dǎo)率 1.31 W/m·K 1.46 W/m·K
比熱容 767 J/kg·K 821 J/kg·K
光學(xué)透過(guò)性 ? 高透光(UV~IR),可制成光學(xué)透鏡 ? 不透明,僅反射結(jié)構(gòu)
機(jī)械強(qiáng)度 中等,抗彎強(qiáng)度約 60 MPa 高,抗彎強(qiáng)度約 100 MPa
均勻性 優(yōu)秀(適合透射光學(xué)件) 穩(wěn)定(適合反射光學(xué)件)
可拋光性 極佳 極佳
材料狀態(tài) 玻璃態(tài)(可熔鑄) 晶化態(tài)(需退火結(jié)晶)
價(jià)格與制造難度 可量產(chǎn)大尺寸,成本相對(duì)較低 晶化工藝復(fù)雜,成本較高

三、主要應(yīng)用領(lǐng)域差異

應(yīng)用領(lǐng)域 康寧 ULE® 肖特 ZERODUR®
天文望遠(yuǎn)鏡鏡基 ? 可用于大型透射/反射鏡(如NASA Hubble 早期測(cè)試鏡) ? 主流選材(ESO、JWST、TMT等主鏡基材)
光學(xué)透鏡與窗口片 ? 高透光率、光學(xué)均勻性好 ? 不透光
激光系統(tǒng)組件 ? 用于高功率激光窗口、光學(xué)元件 ? 用于反射鏡基座
半導(dǎo)體光刻系統(tǒng) ? 透射光學(xué)模塊(投影透鏡) ? 反射光學(xué)模塊(反射鏡基底)
航天光學(xué)結(jié)構(gòu)件 ? 輕量化鏡片與支撐框 ? 精密光學(xué)支架與鏡基
干涉儀與計(jì)量?jī)x器 ? 光路組件 ? 穩(wěn)定結(jié)構(gòu)與基板
衛(wèi)星與空間望遠(yuǎn)鏡 ? 可用于光學(xué)透鏡與窗口 ? 用于結(jié)構(gòu)件與反射鏡背板

四、性能與應(yīng)用邏輯差別分析

分類(lèi) ULE® 優(yōu)勢(shì) ZERODUR® 優(yōu)勢(shì)
光學(xué)性能 透光性極佳,適合透射系統(tǒng) 不透光,反射系統(tǒng)理想基底
熱膨脹穩(wěn)定性 接近零膨脹(略高) 接近零膨脹(更穩(wěn)定)
機(jī)械強(qiáng)度 較低,需結(jié)構(gòu)支撐 高,能承載大型鏡體
尺寸可控性 可制造超大尺寸(直徑>4m) 可制造精密穩(wěn)定結(jié)構(gòu)件
重量 密度低,輕量化優(yōu)勢(shì) 密度略高,剛性更強(qiáng)
典型使用方向 透射光學(xué)組件、窗口、透鏡、激光光學(xué)件 反射鏡基座、天文鏡基、光刻機(jī)反射模塊

五、選材建議

應(yīng)用需求 推薦材料 說(shuō)明
高透光性、光學(xué)均勻性要求高 ULE® 非晶結(jié)構(gòu)無(wú)晶界散射,適合透鏡與窗口
尺寸穩(wěn)定、結(jié)構(gòu)承載與零漂移 ZERODUR® 微晶結(jié)構(gòu)抗形變能力強(qiáng)
大尺寸輕量化反射鏡 ZERODUR®(蜂窩結(jié)構(gòu)可選) 可實(shí)現(xiàn)低變形鏡基
高精度計(jì)量與干涉儀平臺(tái) ZERODUR® 長(zhǎng)期尺寸穩(wěn)定性?xún)?yōu)越
光學(xué)透射組件與激光窗口 ULE® 透過(guò)率高、加工性好

ULE®(康寧) —— 光學(xué)透射優(yōu)選材料
適合用于光學(xué)透鏡、窗口片、激光光學(xué)系統(tǒng)及空間光學(xué)組件,特點(diǎn)是透光性能優(yōu)異、熱漂移小、密度低。

ZERODUR®(肖特) —— 反射與結(jié)構(gòu)優(yōu)選材料
以近零熱膨脹和高剛性著稱(chēng),適用于高精度反射鏡、計(jì)量平臺(tái)和光學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu)件,是全球天文與光刻系統(tǒng)的主流鏡基材料。

      jundro 陶瓷在微晶玻璃加工領(lǐng)域展現(xiàn)出多維度的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),憑借深耕行業(yè)多年的技術(shù)沉淀與工藝創(chuàng)新,為全球半導(dǎo)體、航天航空、光電設(shè)備等領(lǐng)域的客戶(hù)提供了高精度、高可靠性、定制化的微晶玻璃產(chǎn)品及解決方案,成為眾多客戶(hù)項(xiàng)目落地的核心助力。

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