半導(dǎo)體石英環(huán)：蝕刻環(huán)、聚焦環(huán)和覆蓋環(huán)

在半導(dǎo)體制造中，精密部件對(duì)于實(shí)現(xiàn)高良率、穩(wěn)定性和可靠性至關(guān)重要。其中，石英蝕刻環(huán)、聚焦環(huán)和覆蓋環(huán)因其優(yōu)異的熱穩(wěn)定性、耐化學(xué)性和尺寸精度，廣泛應(yīng)用于等離子蝕刻（RIE、ICP 和 CVD 系統(tǒng)）

什么是石英蝕刻環(huán)？

石英蝕刻環(huán)是安裝在蝕刻室內(nèi)的結(jié)構(gòu)部件。其主要功能包括：

在蝕刻過程中保持等離子體均勻性

支撐晶圓并減少邊緣效應(yīng)

可承受惡劣的化學(xué)環(huán)境（例如，CF?、SF?、Cl? 氣體）

與其他材料相比，可確保更長(zhǎng)的蝕刻室組件使用壽命

由于石英具有高純度、優(yōu)異的介電性能和極低的污染，因此是半導(dǎo)體工藝設(shè)備的首選材料之一。

半導(dǎo)體蝕刻中的聚焦環(huán)

石英聚焦環(huán)對(duì)于控制等離子體密度和分布至關(guān)重要。它們安裝在晶圓周圍，用于：

提高整個(gè)晶圓表面的蝕刻均勻性

最大限度地減少微負(fù)載效應(yīng)

穩(wěn)定臨界尺寸 (CD) 控制

保護(hù)底層蝕刻室部件免受等離子體直接暴露

精心設(shè)計(jì)的聚焦環(huán)可以顯著提高良率并降低工藝波動(dòng)性。

蓋環(huán)及其功能

石英蓋環(huán)是放置在腔室表面的保護(hù)性部件，用于保護(hù)硬件免受等離子侵蝕和化學(xué)侵蝕。其優(yōu)勢(shì)包括：

延長(zhǎng)腔室組件的使用壽命

減少顆粒污染

降低設(shè)備停機(jī)時(shí)間和維護(hù)成本

蓋環(huán)通常可定制以適應(yīng)不同的工具平臺(tái)，并可精確加工至±0.01毫米的公差，以實(shí)現(xiàn)高重復(fù)性。

應(yīng)用

石英蝕刻環(huán)、聚焦環(huán)和蓋環(huán)廣泛應(yīng)用于：

蝕刻設(shè)備（RIE、ICP、DRIE）

CVD 和 PECVD 系統(tǒng)

氧化爐和擴(kuò)散爐

光刻支撐組件

定制石英加工服務(wù)

憑借先進(jìn)的五軸數(shù)控加工和拋光技術(shù)，我們提供符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的定制石英環(huán)。主要服務(wù)包括：

公差低至±0.001毫米

光學(xué)表面拋光 (Ra < 0.002 μm)

針對(duì)定制設(shè)計(jì)的復(fù)雜結(jié)構(gòu)加工

快速定制加工和批量生產(chǎn)

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